重大突破！我国新一代光刻机模型亮相

11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。会上，一系列重磅科技亮相。 上海微电子装备集团（简称“SMEE”）携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻...